V1000/1000X/1000XS等离子清洗机
高频输出100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）,电极尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载 RIE·DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
特征
●可变更电极构造提高等离子效果。
●搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
●可根据需求规格提供定制。
用途
●硅晶圆的灰化及蚀刻
●基板表面污垢处理
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有机物去除
●界面活性处理
●表面污染物去除
规格
型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等离子模式 | DP/RIE | ||
高频电源 | 13.56MHz | ||
输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效电极尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 | ||
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